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| 磁控溅射用CoCrPt系靶材制备技术研究进展 |
| Research Progress of CoCrPt System Targets Fabrication |
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| DOI： |
| 中文关键词: 金属材料 粉末冶金 CoCrPt 溅射靶材 熔铸法 质量控制 |
| 英文关键词: |
| 基金项目:国家科技部院所技术开发专项，云南省院所技术开发专项，国家基金项目，云南省基金项目 |
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| 中文摘要: |
| 目前在高密度磁记录薄膜中大量使用到CoCrPt系溅射靶材。重点介绍了CoCrPt系磁性靶材国内外发展现状,靶材制备中的主要工艺以及质量控制内容和方法,最后分析了存在的技术难点和需要解决的问题。 |
| 英文摘要: |
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