三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(III)的合成及性质

蔡宏中; 吴  霏; 安盈志; 常桥稳; 胡昌义; 刘伟平; 陈  力

文章摘要

三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(III)的合成及性质

Synthesis and Characterization of Tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato) Ruthenium(III)

投稿时间：2014-06-03

DOI：

中文关键词: 三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(III) 合成结构特征

英文关键词: tris(2,2,6,6- tetramethyl-3,5-heptanedionato) ruthenium synthesis chemical structure

基金项目:

作者	单位	E-mail
蔡宏中	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明 650106	chz@ipm.com.cn
吴霏	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明 650106
安盈志	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明 650106
常桥稳	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明 650106
胡昌义	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明 650106
刘伟平	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明 650106
陈力	昆明贵金属研究所稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室，昆明 650106	chenli@ipm.com.cn

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中文摘要:

以三氯化钌和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮为原料，在甲醇中合成了β-二酮前驱体—三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(III)。通过元素分析、红外光谱、核磁共振谱、紫外-可见光谱等对其进行了表征，确定了配合物的结构组成。采用TG-DTA分析了配合物在空气和氮气中的热分解行为，为MOCVD 镀钌和钌的氧化物薄膜工艺提供热力学数据与参考。

英文摘要:

A precursor, tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato ) ruthenium (Ru(thd)3) was synthesized from RuCl3 and Hthd in methanol. The structure of Ru(thd)3 was characterized by element analysis, infrared spectroscopy, NMR spectroscopy and UV-vis spectrum. The thermal decomposition behavior was studied by TG-DTA analysis under air and nitrogen. The results provided the thermodynamic data and reference for preparing ruthenium and ruthenium oxide thin film by MOCVD from Ru(thd)3.

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