磁控溅射用CoCrPt系靶材制备技术研究进展

Abstract

磁控溅射用CoCrPt系靶材制备技术研究进展

Research Progress of CoCrPt System Targets Fabrication

DOI：

中文关键词: 金属材料粉末冶金 CoCrPt 溅射靶材熔铸法质量控制

英文关键词:

基金项目:国家科技部院所技术开发专项，云南省院所技术开发专项，国家基金项目，云南省基金项目

Author Name	Affiliation
CHEN Song,GENG Yonghong,WANG Chuanjun,WEN Ming,ZHANG Junmin,BI Jun,LI Yanqiong,TAN Zhilong,ZHANG Kunhua,GUAN Weiming

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中文摘要:

目前在高密度磁记录薄膜中大量使用到CoCrPt系溅射靶材。重点介绍了CoCrPt系磁性靶材国内外发展现状,靶材制备中的主要工艺以及质量控制内容和方法,最后分析了存在的技术难点和需要解决的问题。

英文摘要:

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